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Edmund 極紫外 (EUV) 二向色濾光片

簡(jiǎn)要描述：Edmund 極紫外 (EUV) 二向色濾光片，也稱為光束分離器，旨在通過(guò)在 EUV 和 NIR 波長(zhǎng)之間提供高分離效率，用于高諧波產(chǎn)生應(yīng)用。這些濾光片采用高損傷閾值多層增透膜設(shè)計(jì)，支持比布魯斯特角光束分離器和 EUV 濾光片更高的激光功率。 EUV 二向色濾光片具有從 5nm 到 40nm 的寬帶寬范圍。

產(chǎn)品品牌：其他品牌
廠商性質(zhì)：代理商
更新時(shí)間：2022-06-27
訪問(wèn) 量：1178

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Edmund 極紫外 (EUV) 二向色濾光片

將 EUV 與 NIR 激光源分開
透射型熔融石英設(shè)計(jì)最大限度地延長(zhǎng)組件使用壽命
支持 13.5nm、20nm 和 30nm 應(yīng)用

Edmund 極紫外 (EUV) 二向色濾光片，也稱為光束分離器，旨在通過(guò)在 EUV 和 NIR 波長(zhǎng)之間提供高分離效率，用于高諧波產(chǎn)生應(yīng)用。這些濾光片采用高損傷閾值多層增透膜設(shè)計(jì)，支持比布魯斯特角光束分離器和 EUV 濾光片更高的激光功率。 EUV 二向色濾光片具有從 5nm 到 40nm 的寬帶寬范圍。除了產(chǎn)生高次諧波外，這些反射鏡還可用于支持 EUV 應(yīng)用的系統(tǒng)，例如 EUV 光刻、EUV 納米加工和等離子體實(shí)驗(yàn)。

通用規(guī)格

尺寸容差 (mm):	+0.0/-0.2	直徑 (mm):	50.80
厚度 (mm):	5.08 ±0.1	鍍膜:	Dielectric Multilayer AR
基底:	Fused Silica	表面質(zhì)量:	20-10
平行度（弧分）:	<5	面形計(jì)算 (RMS):	<λ/10 @ 633nm

產(chǎn)品型號(hào)

波長(zhǎng)范圍 (nm)	產(chǎn)品編碼
10 - 25	#18-279
20 - 40	#18-280

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